Jiangyin Feiyang Instrument Co., Ltd.
- Descripción
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Sistema de Degradación de Carbono Orgánico Total (TOC) para Agua Ultrapura en la Fabricación de Microelectrónica
La combinación de luz UV y ozono proporciona un enfoque sinérgico para la reducción de organics traza, los contaminantes más difíciles de controlar en sistemas de agua pura. A medida que el tamaño crítico de los circuitos integrados sigue disminuyendo y la capacidad de los transistores continúa aumentando, los contaminantes en el rango de partes por billón pueden generar defectos que afectan el rendimiento. Los organics son polares y se ionizan débilmente en agua ultrapura. Esto representa un desafío considerable para las resinas de intercambio iónico. Para evitar la fuga de TOC desde los desionizadores pulidos, a menudo es necesario monitorear el contenido de sílice (y/o boro) para determinar cuándo debe realizarse la regeneración.Degradación del TOC
La luz UV puede utilizarse para la degradación eficiente de materia orgánica (comúnmente denominada TOC, Carbono Orgánico Total).
La degradación UV del TOC se logra mediante el uso de sistemas UV diseñados científicamente que funcionan en conjunto con otros procesos.
El dióxido de carbono, un subproducto típico del proceso de degradación del COT, aumenta la conductividad del agua.
Mientras que la mayoría de las moléculas orgánicas se oxidan a dióxido de carbono y moléculas de agua cuando se exponen a luz UV, algunos componentes con estructuras más estables se ionizan o cargan débilmente. Es por esto que los lechos de desionización (DI) pulidos suelen colocarse aguas abajo del proceso de degradación del TOC, eliminando los compuestos orgánicos cargados/ionizados mientras aumentan la resistividad de la columna de agua.
La tecnología UV, en combinación con los procesos de desionización (DI) y ósmosis inversa (RO), puede reducir el TOC en agua purificada hasta tan bajo como 1,0 ppb.
La longitud de onda UV efectiva utilizada para degradar el TOC es de 185 nm.
Equipo de degradación de TOC
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Industrias
Semiconductores y Microelectrónica
En la fabricación de semiconductores, incluso trazas de contaminación orgánica medidas en partes por billón (PPB) pueden afectar los rendimientos de producción. Los sistemas UV-TOC eliminan estos compuestos orgánicos junto con bacterias y cloro para ayudar a mantener el agua ultrapura esencial para la producción de chips.
Potencia y Energía
La calidad del agua desmineralizada es fundamental en la generación de energía. Con los modernos sistemas de tratamiento que utilizan ultrafiltración, membranas de ósmosis inversa (OI) y unidades de electrodiósis (EDI), el control de microbios y cloro residual se ha vuelto cada vez más complejo, especialmente con las membranas de OI, que son muy sensibles a la incrustación y al cloro. Nuestros sistemas UV-TOC resuelven ese desafío.
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